【導(dǎo)讀】電阻式傳感器與相應(yīng)的測量電路組成的測力、測壓、稱重、測位移、加速度、扭矩等測量儀表是冶金、電力、交通、石化、商業(yè)、生物醫(yī)學(xué)和國防等部門進(jìn)行自動(dòng)稱重、過程檢測和實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程自動(dòng)化不可缺少的工具之一。
電阻式傳感器
電阻式傳感器是利用一定的方式將被測量的變化轉(zhuǎn)化為敏感元件電阻參數(shù)的變化，再通過電路轉(zhuǎn)變成電壓或電流信號(hào)的輸出，從而實(shí)現(xiàn)非電量的測量。
可用于各種機(jī)械量和熱工量的檢測，如用來測量力、壓力、位移、應(yīng)變、速度、加速度、溫度和濕度等。它結(jié)構(gòu)簡單，性能穩(wěn)定，成本低廉，在許多行業(yè)得到了廣泛應(yīng)用。
由于構(gòu)成電阻的材料及種類很多，引起電阻變化的物理原因也很多，這就構(gòu)成了各種各樣的電阻式傳感元件以及由這些元件構(gòu)成的電阻式傳感器。
電阻式傳感器的優(yōu)缺點(diǎn)
1、電阻式傳感器的優(yōu)點(diǎn)
1）有較大的非線性、輸出信號(hào)較弱，但可采取一定的補(bǔ)償措施。因此它廣泛應(yīng)用于自動(dòng)測試和控制技術(shù)中。
2）電阻應(yīng)變式傳感器中的電阻應(yīng)變片具有金屬的應(yīng)變效應(yīng)，即在外力作用下產(chǎn)生機(jī)械形變，從而使電阻值隨之發(fā)生相應(yīng)的變化。
2、電阻式傳感器的缺點(diǎn)
1）對(duì)于大應(yīng)變有較大的非線性、但輸出信號(hào)較弱。
2）隨著時(shí)間和環(huán)境的變化，構(gòu)成傳感器的材料和器件性能會(huì)發(fā)生變化。因此不適用于長期監(jiān)測，因?yàn)闀r(shí)漂、溫漂較大，長時(shí)間測的話可能就無法取得真實(shí)有效的數(shù)據(jù)。
3）易受到電場、磁場、振動(dòng)、輻射、氣壓、聲壓、氣流等的影響。
電阻應(yīng)變式傳感器
電阻應(yīng)變式傳感器是根據(jù)電阻應(yīng)變效應(yīng)的原理制成的，將測量物體的變形轉(zhuǎn)換成電阻的變化。主要用于機(jī)械量的檢測中，如力、壓力等物理量的檢測中，其應(yīng)用最為廣泛的形式是電阻應(yīng)變片。
電阻應(yīng)變效應(yīng)：導(dǎo)體或半導(dǎo)體材料在外力作用下會(huì)產(chǎn)生機(jī)械形變，其電阻值也發(fā)生相應(yīng)改變，這種現(xiàn)象稱為電阻應(yīng)變效應(yīng)。
金屬電阻應(yīng)變片的工作原理就是電阻應(yīng)變效應(yīng)。
金屬導(dǎo)體的電阻值可表示為：
1、電阻應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)
電阻應(yīng)變片又稱為電阻應(yīng)變計(jì)，它的結(jié)構(gòu)形式較多，但其主要組成部分基本相同，是由基底、敏感柵和覆蓋層等組成。
1）敏感柵——實(shí)現(xiàn)應(yīng)變到電阻轉(zhuǎn)換的敏感元件。通常由直徑為0.015～0.05mm的金屬絲繞成柵狀，或用金屬箔腐蝕成柵狀。
2）基底——為保持敏感柵固定的形狀、尺寸和位置，通常用粘結(jié)劑將其固結(jié)在紙質(zhì)或膠質(zhì)的基底上。基底必須很薄，一般為0.02～0.04mm。
3）引線——起著敏感柵與測量電路之間的過渡連接和引導(dǎo)作用。通常取直徑約0.1～0.15mm的低阻鍍錫銅線，并用釬焊與敏感柵端連接。
4）蓋層——用紙、膠作成覆蓋在敏感柵上的保護(hù)層，起著防潮、防蝕、防損等作用。
5）粘結(jié)劑——制造應(yīng)變計(jì)時(shí)，用它分別把蓋層和敏感柵固結(jié)于基底，使用應(yīng)變計(jì)時(shí)，用它把應(yīng)變計(jì)基底粘貼在試件表面的被測部位，它也起著傳遞應(yīng)變的作用。
2、電阻應(yīng)變片的要求：
1）應(yīng)變靈敏度系數(shù)大，且線性范圍寬；
2）電阻率值大，即在同樣長度、同樣橫截面積的電阻絲中具有較大的電阻值；
3）電阻穩(wěn)定性能好，溫度系數(shù)小，其阻值隨環(huán)境溫度變化較?。?/div>
4）易于焊接，對(duì)引線材料的接觸電勢(shì)??；
5）抗氧化能力高、耐腐蝕、耐疲勞，機(jī)械強(qiáng)度高，具有優(yōu)良的機(jī)械加工性能。
常用金屬電阻絲材料的性能：
3、電阻應(yīng)變片的分類
按照電阻應(yīng)變片的制造方法、工作溫度以及用途，可以對(duì)電阻應(yīng)變片進(jìn)行不同的分類。
根據(jù)應(yīng)變片的制作材料，可以把應(yīng)變片分為金屬電阻應(yīng)變片和半導(dǎo)體應(yīng)變片兩大類。
金屬電阻應(yīng)變片
金屬絲式應(yīng)變片由基體材料、金屬應(yīng)變絲或應(yīng)變箔、絕緣保護(hù)片和引出線等部分組成。
金屬絲式應(yīng)變片有回線式和短接式二種?；鼐€式最為常用，制作簡單，性能穩(wěn)定，成本低，易粘貼，但橫向效應(yīng)較大。絲式金屬電阻應(yīng)變片的敏感柵由直徑0.01～0.05mm的電阻絲平行排列而成。應(yīng)變片的阻值為幾十歐至幾十千歐左右。
金屬箔式電阻應(yīng)變片
它的敏感柵是通過光刻、腐蝕等工藝制成。將合金先軋成厚度為0.002mm~0.01mm的箔材，經(jīng)過熱處理后在一面圖刷一層0.03~0.05mm厚的樹脂膠，再經(jīng)聚合固化形成基底。在另一面經(jīng)照相制版、光刻、腐蝕等工藝制成敏感柵，焊上引線，并涂上與基底相同的樹脂膠作為覆蓋片。
箔式應(yīng)變計(jì)的主要特點(diǎn)：
①工藝上，它能保證敏感柵尺寸準(zhǔn)確，線條均勻。大批量生產(chǎn)時(shí)，電阻值一致性好，離散程度小。
②箔式應(yīng)變計(jì)的敏感柵的橫截面積為矩形，表面積和截面積之比大，散熱性能好，允許通過的電流較大，靈敏度系數(shù)較高。
③箔式應(yīng)變計(jì)比絲式應(yīng)變計(jì)厚度薄，其厚度一般為0.003~0.01mm，由于它的厚度薄，具有較好的可繞性，因此可以根據(jù)需要制成任意形狀的敏感柵（即應(yīng)變花）和微型小基長（如基長為0.1mm），有利于傳遞變形。
④由于箔式應(yīng)變計(jì)的特殊工藝，適合批量生產(chǎn)，且生產(chǎn)效率高。
金屬薄膜應(yīng)變片
薄膜，一般指厚度不超過0.1μm的膜。金屬薄膜應(yīng)變片是采用真空蒸鍍、沉積或?yàn)R射式陰極擴(kuò)散等方法按規(guī)定圖形制成的掩膜版，在很薄的絕緣基底材料上制成一層金屬電阻材料薄膜以形成敏感柵，再加上保護(hù)層而制成。
金屬薄膜應(yīng)變片可以采用一些高溫材料制成可在高溫條件下工作的電阻應(yīng)變片。例如，采用鉑或鉻等材料沉積在藍(lán)寶石薄片上或覆有陶瓷絕緣層的鉬條上，工作溫度范圍在600℃~800℃。
若按照工作溫度進(jìn)行分類，可將電阻應(yīng)變計(jì)分為低溫（-30℃以下）、常溫（-30℃～60℃）、中溫（60℃～300℃）和高溫（300℃以上）幾種應(yīng)變計(jì)。
4、電阻應(yīng)變式傳感器的測量電路
電阻應(yīng)變式傳感器的測量電路按照工作電源分為直流電源測量電路和交流電源測量電路兩種。
1）直流電橋電路
直流電橋電路是由連接成環(huán)形的四個(gè)橋臂組成的，每個(gè)橋臂上是一個(gè)電阻，分別為R1、R2、R3及R4，他們可全部或部分是應(yīng)變片。
2）交流電橋電路
由于應(yīng)變電橋輸出電壓很小，一般都要加放大器，而直流放大器易于產(chǎn)生零漂，因此應(yīng)變電橋多采用交流電橋。
3）電橋的調(diào)平衡
在應(yīng)變片工作之前必須對(duì)電橋進(jìn)行平衡調(diào)節(jié)。對(duì)于直流電橋可采用串聯(lián)或并聯(lián)電位器法。常用的電橋調(diào)平衡電路如圖所示。
（a）為串聯(lián)電阻調(diào)平衡法 （b）為并聯(lián)電阻調(diào)平衡法
對(duì)于交流電橋一般采用阻容調(diào)平衡法，如圖所示。
（c）為差動(dòng)電容調(diào)平衡法 （d）為阻容調(diào)平衡法
5、電阻應(yīng)變式傳感器的粘貼
應(yīng)變片是用粘結(jié)劑粘貼到被測件上的，粘結(jié)劑形成的膠層必須準(zhǔn)確迅速地將被測件應(yīng)變傳遞到敏感柵上。選擇粘結(jié)劑時(shí)必須考慮應(yīng)變片材料和被測件材料性能，不僅要求粘接力強(qiáng)，粘結(jié)后機(jī)械性能可靠，而且粘合層要有足夠大的剪切彈性模量，良好的電絕緣性，蠕變和滯后小，耐濕，耐油，耐老化，動(dòng)態(tài)應(yīng)力測量時(shí)耐疲勞等。
應(yīng)變片的粘貼步驟一般可分為：
（1）應(yīng)變片的檢查與選擇
（2）試件的表面處理
（3）底層處理
（4）貼片
（5）固化
（6）粘貼質(zhì)量檢查
（7）引線焊接與組橋連線
應(yīng)變片的選用：
（1）選擇類型—使用目的、要求、對(duì)象、環(huán)境
（2）材料考慮—使用溫度、時(shí)間、最大應(yīng)變量及精度。
（3）阻值選擇—根據(jù)測量電路和儀器選定標(biāo)稱電阻
（4）尺寸考慮—試件表面、應(yīng)力分布、粘貼面積
（5）其他考慮—特殊用途、惡劣環(huán)境、高精度
6、電阻應(yīng)變式傳感器的應(yīng)用
電阻應(yīng)變片的應(yīng)用有兩個(gè)方面：一是作為敏感元件，可直接用于被測試件的應(yīng)變測量；另一方面作為轉(zhuǎn)換元件，通過彈性元件構(gòu)成傳感器，可用于對(duì)任何能轉(zhuǎn)換成彈性元件應(yīng)變的其他物理量的間接測量。
應(yīng)變片式傳感器的特點(diǎn)：
①應(yīng)用和測量范圍廣；
②分辨率和靈敏度高、精度較高；
③結(jié)構(gòu)輕小，對(duì)試件影響小，環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)，頻率響應(yīng)好；
④商品化，選用方便，便于實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離、自動(dòng)化測量。
1）測力傳感器：
2）壓力傳感器：
3）應(yīng)變式位移傳感器：
應(yīng)變式位移傳感器是把被測位移量轉(zhuǎn)變成彈性元件的變形和應(yīng)變，然后通過應(yīng)變計(jì)和應(yīng)變電橋，輸出正比于被測位移的電量。
4）應(yīng)變式加速度傳感器：
通過質(zhì)量塊與彈性元件的作用，還可將被測加速度轉(zhuǎn)換成彈性應(yīng)變，從而構(gòu)成應(yīng)變式加速度傳感器。
壓阻式傳感器
有些固體材料在某一軸向受到外力作用時(shí)，除了產(chǎn)生變形外，其電阻率ρ也要發(fā)生變化，這種由于應(yīng)力的作用而使材料電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象稱為壓阻效應(yīng)。半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)特別強(qiáng)。利用壓阻效應(yīng)制成的傳感器稱為壓阻式傳感器。
壓阻式傳感器的靈敏系數(shù)大，分辨率高，頻率響應(yīng)好，體積小。它主要用于測量壓力、加速度和載荷等參數(shù)。
1、壓阻式傳感器的分類
壓阻式傳感器是利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)而制成的一種純電阻性元件。它主要有三種類型：體型、薄膜型和擴(kuò)散型。
1）體型壓阻傳感器
利用半導(dǎo)體材料電阻制成粘貼式的應(yīng)變片（半導(dǎo)體應(yīng)變片），用此應(yīng)變片制成的傳感器稱為半導(dǎo)體應(yīng)變式傳感器，其工作原理是基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)。這是一種將半導(dǎo)體材料硅或鍺晶體按一定方向切割成的片狀小條，經(jīng)腐蝕壓焊粘貼在基片上而成的應(yīng)變片，其結(jié)構(gòu)如圖。
2）薄膜型壓阻傳感器
薄膜型壓阻傳感器是利用真空沉積技術(shù)將半導(dǎo)體材料沉積在帶有絕緣層的試件上而制成的，結(jié)構(gòu)如圖。
3）擴(kuò)散型壓阻傳感器
擴(kuò)散型壓阻傳感器是在半導(dǎo)體材料的基片上利用集成電路工藝制成擴(kuò)散電阻。將P型雜質(zhì)擴(kuò)散到N型硅單晶基底上，形成一層極薄的P型導(dǎo)電層，再通過超聲波和熱壓焊法接上引出線就形成了擴(kuò)散型半導(dǎo)體應(yīng)變片。
它是一種應(yīng)用很廣的半導(dǎo)體應(yīng)變片。擴(kuò)散型壓阻傳感器的基片是半導(dǎo)體單晶硅。
2、壓阻式傳感器的工作原理
1）工作原理
壓阻式傳感器是用半導(dǎo)體材料制成的，其工作原理是基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)，當(dāng)半導(dǎo)體應(yīng)變片受軸向力作用時(shí)，其電阻率 發(fā)生變化。其電阻相對(duì)變化為：
用應(yīng)變片測量應(yīng)變或應(yīng)力時(shí)，在外力作用下，被測對(duì)象產(chǎn)生微小機(jī)械變形，應(yīng)變片隨著發(fā)生相同的變化，同時(shí)應(yīng)變片電阻值也發(fā)生相應(yīng)變化。半導(dǎo)體應(yīng)變片與金屬應(yīng)變片相比，最突出的優(yōu)點(diǎn)是它的體積小而靈敏度高。
2）溫度誤差及補(bǔ)償
由于半導(dǎo)體材料對(duì)溫度很敏感，壓阻式傳感器的電阻值及靈敏度系數(shù)隨溫度變化而發(fā)生變化，引起的溫度誤差分別為零漂和靈敏度溫漂。壓阻式傳感器一般在半導(dǎo)體基片上擴(kuò)散四個(gè)電阻，當(dāng)四個(gè)擴(kuò)散電阻的阻值相等或相差不大、電阻溫度系數(shù)也相同時(shí)，其零漂和靈敏度溫漂都會(huì)很小，但工藝上難以實(shí)現(xiàn)。由于溫度誤差較大，壓阻式傳感器一般都要進(jìn)行溫度補(bǔ)償。
3、壓阻式傳感器的應(yīng)用
利用半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)，可設(shè)計(jì)成多種類型的壓阻式傳感器。壓阻式傳感器體積小，結(jié)構(gòu)比較簡單，靈敏度高，能測量十幾微帕的微壓，動(dòng)態(tài)響應(yīng)好，長期穩(wěn)定性好，滯后和蠕變小，頻率響應(yīng)高，便于生產(chǎn)，成本低。因此，它在測量壓力、壓差、液位物位、加速度和流量等方面得到了普遍應(yīng)用。
1）壓力測量
硅壓阻式壓力傳感器由外殼、硅膜片（硅杯）和引線等組成。
2）液位測量
它是根據(jù)液面高度與液壓成比例的原理工作的。投入式液位傳感器安裝方便，可適應(yīng)于深度為幾米至幾十米，且混有大量污物、雜質(zhì)的水或其他液體的液位測量。
3）加速度測量
它的懸臂梁直接用單晶硅制成，在懸臂梁的根部擴(kuò)散四個(gè)阻值相同的電阻，構(gòu)成差動(dòng)全橋。在懸臂梁的自由端裝一質(zhì)量塊，當(dāng)傳感器受到加速度作用時(shí)，由于慣性，質(zhì)量塊使懸臂梁發(fā)生形變而產(chǎn)生應(yīng)力，該應(yīng)力使擴(kuò)散電阻的阻值發(fā)生變化，由電橋的輸出信號(hào)可獲得加速度的大小。
隨著集成化技術(shù)的發(fā)展，集成化、多功能化、智能化的各類混合集成和單片集成式傳感器被廣泛應(yīng)用。集成化傳感器有壓阻式、電容式類型，其中壓阻式集成化傳感器發(fā)展快、應(yīng)用廣。
本文轉(zhuǎn)載自傳感器技術(shù)mp。
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