1、壓電陶瓷致動器對驅(qū)動電源的要求

壓電陶瓷致動器的驅(qū)動電源應(yīng)具有如下特點：

(1)壓電陶瓷致動器的位移輸出對外加驅(qū)動控制電壓的響應(yīng)速度，主要取決于驅(qū)動電源驅(qū)動電流的大小，因此驅(qū)動電源應(yīng)具有較大的驅(qū)動電流，一般不應(yīng)小于150mA；

(2)驅(qū)動電源的輸出控制電壓連續(xù)可調(diào)，對國產(chǎn)壓電陶瓷致動器PTBS200系列而言，要求驅(qū)動電源輸出電壓為直流0～200V，連續(xù)可調(diào)；

(3)為適應(yīng)高頻響應(yīng)的要求，驅(qū)動電源中應(yīng)具有供容性負載快速放電的回路；

(4)由于壓電陶瓷致動器主要應(yīng)用于微納米技術(shù)領(lǐng)域，所以驅(qū)動電源應(yīng)具有良好的穩(wěn)定性，其輸出紋波電壓應(yīng)控制在很小的范圍內(nèi)；

(5)為實現(xiàn)位移的自動控制，驅(qū)動電源最好采用計算機控制。

壓電陶瓷致動器外電路是一個容性負載，并有遲滯和蠕變現(xiàn)象。而驅(qū)動電源一般可分為電荷控制型和電壓控制型。電荷控制型驅(qū)動電源基于電容器充電的原理(對外加電壓而言，每個壓電陶瓷片相當(dāng)于一只平行板電容器)，可以改善壓電陶瓷的遲滯和蠕變。電壓控制型驅(qū)動電源主要有以下兩種形式：一種是基于DC/DC變換器原理的開關(guān)式驅(qū)動電源，其體積小、效率高，但電源輸出紋波較大，頻響范圍也較窄；另一種是直流放大電源，頻響范圍寬，從發(fā)展趨勢來看，其應(yīng)用前景廣闊。

2、驅(qū)動電源的設(shè)計

根據(jù)壓電陶瓷致動器對其驅(qū)動電源的要求，本設(shè)計中的電源采用直流放大式電路。整個電源電路主要由計算機與數(shù)據(jù)采集卡、運算放大電路和高壓電路等幾部分組成。高壓電路提供220V的直流電壓，計算機通過LabView8.5控制數(shù)據(jù)采集卡產(chǎn)生一定的輸出波形，得到0～5V的連續(xù)可調(diào)控制電壓;放大電路實現(xiàn)電壓的線性放大和功率放大，輸出0～200V連續(xù)可調(diào)的直流電壓，并決定著電源輸出電壓的分辨率和穩(wěn)定性，是整個電源的關(guān)鍵。

① 高壓電路

由于直流電壓的穩(wěn)定性直接影響驅(qū)動電源的穩(wěn)定性，采用220V輸出電壓的高壓電路，主要部分是將市電交流220V變?yōu)?220V直流電壓的全橋整流供電電路。

② 波形發(fā)生電路

良好的輸入波形是電源的關(guān)鍵之一，關(guān)系到壓電陶瓷的伸縮變化。輸入波形信號的頻率、幅值可變，信號波形好，畸變小，不僅可以消除壓電陶瓷本身的遲滯特性和蠕變特性，也能獲得更廣泛的應(yīng)用。由于電壓精度要求比較高，使用NI公司的具有16位模擬輸入輸出的多功能數(shù)據(jù)采集卡6221將數(shù)字量轉(zhuǎn)換成模擬量，輸出電壓為0～5V，電壓分辨率達到5/216，約等于0.076mV。采用LabView8.5編程可以實現(xiàn)任意波形及緩變直流等輸出，靈活性強，能滿足各種需要。

③高壓放大電路

采用美國APEX公司生產(chǎn)的高壓運算放大器PA96和高精度運算放大器OP07串聯(lián)組成串聯(lián)負反饋放大電路。PA96是一種高壓，大帶寬的MOSFET運算放大器，輸出電流達到1.5A，輸出電壓接近300V，安全操作區(qū)(SOA)沒有二次擊穿的限制，通過選擇合適的限流電阻，可觀察到任何負載下的安全操作曲線。PA96的最大失調(diào)電壓為5mV，對要求分辨率為10mV以下的壓電陶瓷驅(qū)動電源，其輸入特性不能滿足要求。在該電源的線性放大部分采用了PA96和OP07串聯(lián)的復(fù)合放大器，從而使輸入失調(diào)電壓由前置放大器OP07控制。由于復(fù)合放大器的輸入電壓為0～5V，輸出電壓要求為0～200V，因此復(fù)合放大器的放大倍數(shù)要求為40。但增益過大會影響運放穩(wěn)定性，因此選定PA96的閉環(huán)放大倍數(shù)為31，PA96和OP07串聯(lián)后共同提供的放大倍數(shù)為40。根據(jù)放大倍數(shù)的分配要求可得：

R1=3kΩ，R2=117Ω，R3=180Ω，R4=6kΩ

由于構(gòu)成負反饋電路，輸出電阻非常小(mΩ級)，因此具有很強的帶負載能力。R5為限流電阻，其值由公式IL=0.68V/R5=125mA可得，這里為5.4Ω。

3、相位補償與輸出保護

自激現(xiàn)象是影響電源穩(wěn)定性的一個主要因素。當(dāng)集成運放的開環(huán)增益為一定值時，由于相移過大，電路會產(chǎn)生振蕩現(xiàn)象，因此應(yīng)對集成運放進行相位補償。通常在輸入端和輸出端外接補償元件，進行相位補償。相位補償不僅能提高運放的穩(wěn)定性，還能擴展帶寬。電路中PA96一級的閉環(huán)放大倍數(shù)為31，由此計算出其增益為30，根據(jù)PA96的數(shù)據(jù)資料，確定相位補償電容值CC=10pF，閉環(huán)帶寬大約為1MHz。OP07輸入端的二極管D1、D2提供差模和共模保護，防止瞬態(tài)過壓，輸出二極管D3、D4可對瞬態(tài)過壓進行保護，防止瞬態(tài)過壓損壞OP07的輸出。PA96放大器輸入端的二極管D5、D6、D7、D8把放大器正負輸入端的電壓鉗位在規(guī)定范圍內(nèi)，對運放起保護作用。

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