- 最新的4225-PMU超快I-V測試模塊豐富了4200-SCS半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)的可選儀器系列
- 實(shí)現(xiàn)了業(yè)界最寬的電壓、電流和上升/下降/脈沖時間動態(tài)量程
- 大大提高了系統(tǒng)對新材料、器件和工藝進(jìn)行特征分析的能力
- 利用4225-PMU可以像進(jìn)行直流測量那樣,輕松實(shí)現(xiàn)超快的I-V源和測量操作
- 單機(jī)實(shí)現(xiàn)三大基本特征分析功能的吉時利超快C-V測量系統(tǒng)
- 非常適合于既需要超快電壓輸出又需要同步測量的應(yīng)用——從納米CMOS到閃存
與之前需要多達(dá)三種不同測試臺才能對器件、材料或工藝進(jìn)行充分特征分析的方案不同的是,4225-PMU憑借其很寬的動態(tài)量程,只需一套儀器即可完成對材料、器件和工藝的全方位特征分析。目前,實(shí)驗(yàn)室配置一套靈活的系統(tǒng)就可以處理所有三類測量操作:精密直流I-V測試(4200-SMU)、交流阻抗(4210-CVU C-V儀器)和超快I-V或瞬態(tài)I-V測試(4225-PMU)。
單模塊雙通道集成式源和測量功能
每個4225-PMU模塊提供了兩個通道的集成式源和測量功能,但是僅僅占用九槽機(jī)架中的一個插槽。每個機(jī)架最多可安裝四個這樣的模塊,實(shí)現(xiàn)最高8個超快的源/測量通道。每個通道兼具高速電壓輸出(脈寬范圍從60納秒到直流)和同步電流與電壓測量兩大功能。這種模塊實(shí)現(xiàn)了高速電壓脈沖和同步電流與電壓測量功能,采集速率高達(dá)200兆次采樣/秒(MS/s),具有14位模-數(shù)轉(zhuǎn)換器(A/D),每個通道采用了兩個A/D(每卡四個A/D)。用戶可以選擇兩種電壓源量程(1兆歐輸入±10伏 ± 40伏),以及四種電流量程(800毫安、200毫安、10毫安、100微安)。
可選的硬件擴(kuò)展源-測量靈活性
每個4225-PMU模塊可以配置多達(dá)兩個可選的4225-RPM遠(yuǎn)程放大器/開關(guān),從而提供了四種額外的低電流量程。它們還有助于減少線電容效應(yīng),并且支持在4225-PMU、4210-CVU和機(jī)架中安裝的其他SMU之間自動切換。另外還有可選的4220-PGU脈沖發(fā)生器,它是僅僅支持電壓源功能的4225-PMU替代品。
支持豐富的材料、器件和工藝特征分析應(yīng)用
4225-PMU和4225-RPM結(jié)合在一起能夠?qū)崿F(xiàn)其它單臺儀器無法實(shí)現(xiàn)的多種應(yīng)用所必需的工具功能。其中一些主要應(yīng)用如:
通用超快I-V測量。脈沖式I-V測試具有很廣泛的應(yīng)用,它通過使用窄脈沖和/或低占空比脈沖而不是直流信號,能夠防止器件自熱效應(yīng)。
CMOS器件特征分析。4225-PMU/4225-RPM的高速電壓源和電流測量靈敏度使得它們非常適合于CMOS器件的特征分析,包括高k器件和先進(jìn)CMOS工藝,如絕緣體上硅(SOI)。
非易失性存儲器測試。系統(tǒng)安裝的KTEI軟件提供了用于閃存和相變存儲器(PCM)器件測試的工具包。該系統(tǒng)非常適合于單個存儲單元或小規(guī)模存儲陣列的測試,例如研發(fā)或工藝驗(yàn)證之類的應(yīng)用。
化合物半導(dǎo)體器件與材料的特征分析。4225-PMU能夠?qū)II-V族材料進(jìn)行特征分析,例如氮化鎵(GaN)、砷化鎵(GaAs)和其它一些化合物半導(dǎo)體。它允許用戶設(shè)置一個脈沖偏移電壓,然后從非零值進(jìn)行測量,從而研究器件的放大增益或線性度。
NBTI/PBTI可靠性測試。可選的4200-BTI-A超快BTI工具包集成了實(shí)現(xiàn)所有已知BTI測試方法所需的全部硬件和軟件,并且具有最快、最靈敏的測量性能。此外,自動特征分析套件(ACS)軟件還支持全自動晶圓級和晶匣級測試,內(nèi)置NBTI/PBTI測試庫,具有簡潔易用的GUI。
四種可編程掃描選項
4225-PMU支持四種掃描類型:線性掃描、脈沖、任意波形和分段ARB®(已申請專利)。分段ARB模式簡化了波形的創(chuàng)建、存儲和生成過程,最高支持由2048個用戶自定義線段組成的波形,具有出色的波形生成靈活性。
高性能纜接
可選的多路測量高性能線纜套件能夠?qū)崿F(xiàn)4200-SCS和探測控制器的連接,簡化在直流I-V、C-V和超快I-V測試配置之間的相互切換過程,無需重新布線,增強(qiáng)了信號保真度。
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美國吉時利儀器公司擁有60多年的測試和測量的豐富經(jīng)驗(yàn),已經(jīng)成為涵蓋從DC(直流)到RF(射頻)先進(jìn)的電子測量儀器和系統(tǒng)的行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者。專為電子制造業(yè)對高性能的生產(chǎn)測試、工藝監(jiān)控、產(chǎn)品的研究與開發(fā)方面的特殊需要與挑戰(zhàn),提供卓越的解決方案。憑借在電子測試研發(fā)領(lǐng)域的優(yōu)勢,吉時利儀器公司已經(jīng)成為一個在半導(dǎo)體、無線通訊、光電器件和其它精密電子測量領(lǐng)域世界級的測試技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者。吉時利儀器公司對客戶的核心價值在于:將先進(jìn)的精密測量技術(shù)與深入了解客戶應(yīng)用有機(jī)結(jié)合,從而幫助客戶提高產(chǎn)品質(zhì)量、產(chǎn)能與產(chǎn)量。
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